|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
№ п/п Наименование
функционального или технического требования Значение
параметра Примечание 1 2 3 4 1 Технические характеристики 1.1 Механизм внутрикамерного
вращения образцов Габариты, см 20х20х5 Количество образцов, не менее 5 Скорость вращения образцов, об/мин 0 - 500 Ориентация в пространстве: По вертикали, мм: По горизонтали: Возможность отклонения от вертикали, град, до: 0 – 500 Не нормируется 45 Шаговый двигатель: Рабочее давление, Па, до и менее: Максимальная рабочая температура, С Контроль температуры, С Электросоединение Изоляция, кВ Управление драйвером: 10-5 200 0 – 300 Вакуумный электроввод 1 Ручное/через последовательный порт с ПК/с помощью
загруженной программы драйвера Термопара/ терморезистор Изоляция от корпуса в условиях вакуума 1.2 Система компьютерного упаравления: Количество аналоговых входов: 4 16 ±30В/±20mA, 12bit ±150,500мВ, ±1,5,10В,
±20мА,16bit Количество аналоговых выходов: 4 16 ±10В,
±10мА. 12 bit 20мА, ±10В, 12 bit Количество термопарных входов: 8 ±25,50,100мВ
и -20+80мВ, 16 bit (с температурной
компенсацией) интерфейс RS485 1 интерфейс RS232 1 данные с датчиков давления аналоговый
сигнал 8 каналов, цифровой сигнал 2 канала конвертер RS232-RS485 1 2. Cистема
компьютерного управления: Система
компьютерного управления на базе промышленного контроллера с платами
ввода/вывода. Для управления стендом контроллер соединён по сети с 2
персональными компьютерами, на одном из которых реализована программа (в виде мнемосхемы)
для управления оператором, на другом выводятся данные с системы измерений для
их оперативной обработки. Система компьютерного управления управляет
исполнительными устройствами стенда: вакуумными насосами, запорной арматурой,
электродуговыми и магнетронными источниками, приводом вращения образцов в
вакуумной камере. 3. Программное обеспечение: Программное
обеспечение включает: модуль автоматического управления плазматической системой
и приёма всех необходимых данных системы измерений; модуль программного расчета
картины распределения потока осаждаемых частиц методом угловых коэффициентов и
электромагнитных полей методом конечных объёмов; а также обеспечивает: -
возможность задания произвольной плоской поверхности источника эмиссии частиц; -
возможность расчета картины распределения потока частиц, распространяющегося по
произвольно заданному закону, на произвольно ориентированных площадках; -
возможность изменения точности интегрирования по поверхностям; -
возможность задания замкнутой поверхности с целью верификации расчетов на
сохранение замкнутости. 4.
Комплектность поставки оборудования:
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
